製品情報

一般光学部品

バーミラー

バーミラーは主に露光装置のX・Yステージの測長に使用されております。バーミラーの加工精度がX・Yステージの性能に大きな影響を与えます。 材料は高純度合成石英、クリアセラムZ等低熱膨張ガラスを使用しております。

L寸法: 100mm~800mm超
面精度: 数μm~λ/10
(素材、形状等詳細仕様につきましてはご相談ください。)

サンプル貸出品についてはこちら

お問い合わせはこちらから