取り扱い製品

バーミラー

バーミラーは主に露光装置のＸ・Ｙステージの測長に使用されております。
バーミラーの加工精度がＸ・Ｙステージの性能に大きな影響を与えます。
材料は高純度合成石英、クリアセラムＺ等低熱膨張ガラスを使用しております。

Ｌ寸法：　１００ｍｍ〜２，０００ｍｍ超
面精度：　数μｍ〜λ／２０
（素材、形状等詳細仕様につきましてはご相談ください。）